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洁净室工程
洁净室要达到洁净等级，必须有综合措施，其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言，主要有以下几项具体措施[1]:
(1) 对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此，必须选用高效或亚高效过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器，对进入洁净室的空气，进行较后-级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。
(2)根据洁净室的等级，合理选择洁净室的气流分布流型，在工作区应避免涡流区;尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。
(3) 有足够的风量，既为了稀释空气的含尘浓度，又保证有稳定的气流流型。
(4)不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。
(1) 对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此，必须选用高效或亚高效过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器，对进入洁净室的空气，进行较后-级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。
(2)根据洁净室的等级，合理选择洁净室的气流分布流型，在工作区应避免涡流区;尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。
(3) 有足够的风量，既为了稀释空气的含尘浓度，又保证有稳定的气流流型。
(4)不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。
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